Alicat气体质量流量计和体积流量计
| 产品规格 | M（质量流量计） |
V（体积量计） | 测量单位 |
| 量程范围 | 0.5,1,2,5,10,20,50,100,200,500 | （S）CCM | |
| 1,2,5,10,20,50,100,250,500,1000,2000 | （S）LPM | ||
| 精度等级 | ±0.5% | ±0.5% | 满量程 |
| 重复性 | ±0.5% | ±0.5% | 满量程 |
| 量程比 | 100：1 | 100；1 | |
| 响应时间 | 10+ | 10+ | 毫秒 |
| 压降大小 | 0.4 | 0.4 | PSID |
| 操作温度 | 0～+50 | 0～+50 | ℃ |
| 零点漂移 | 0.02%/ATM | 0.02%/ATM | 满量程℃ |
| 范围漂移 | 0.02%/ATM | 0.02%/ATM | 满量程℃ |
| 湿度量程 | 0-100% | 0-100% | 无冷凝 |
| 过流率 | 2.4% | 2.4% | 满量程 |
| 最大耐压 | 125 | 125 | PSIG |
| 供应电流 | 30 | 30 | 毫安 |
| 电压电源 | 7-30 | 7-39 | VDC |
| 输入/输出 | 0-5VDC，0-10VDC，4-20mA,RS-232 | VDC | |
| 电气连接 | 8针 | 8针 | 小型圆插头DIN |
| 机械连接 | 1/8″接口：流量≤20（S）LPM 1/4″接口：流量为50（S）LPM和100（S）LPM 1/2″接口：当流量为250～1000（S）LPM 1″接口：当流量为1000（S）LPM以上 |
NPTF | |
| 接液部件阳极氧化铝，303和302不锈钢，Viton ，RTV硅树脂，玻璃纤维增强尼龙 | |||
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